Deposition O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.

2022.11.23 17:08

최철용 조회 수:823

안녕하세요. TBIDMW를 사용한 WC_x 박막에 관한 논문을 읽던 중 궁금한 점이 생겼습니다.

 

TBIDMW 소재 관련 공정 진행 후 남은 부산물에 관해 O2 Plasma를 사용한 PPS 시스템 사용 시 

 

아민 계열을 해리시키고 남은 메탈 소재에 대해서 O2 plasma로 부산물을 안전하게 처리가 되는지 궁급합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82561
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70359
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96244
153 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 781
152 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 783
151 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 787
150 ICP 후 변색 질문 801
149 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 801
148 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 807
» O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 823
146 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 846
145 Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마] [1] 853
144 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 857
143 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 863
142 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 867
141 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 890
140 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 960
139 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1028
138 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 1037
137 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1063
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1066
135 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1188
134 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1206
쓰기
태그

Boards

XE Login