플라즈마 응용 연구실의 질문방에 오신 것을 환영합니다! 이 Q&A 게시판에는 2004년부터 플라즈마에 대해 받은 질문과 그 대답이 정리되어 있습니다. 이 방대한 자료 속에서 자신에게 필요한 내용을 더 쉽고 빠르게 찾기 위한 방법을 알려드리겠습니다.

 

 

1. 키워드로 검색하기

 

내게 필요한 정보를 빠르게 찾기 위해서는 먼저 검색창을 이용해봅시다.

 

QA 길잡이 1.png

 

 

위 그림과 같이 질문방 화면 좌측 하단에는 돋보기 아이콘이 있습니다. 이 돋보기 아이콘을 클릭하면 다음과 같이 검색창이 나타납니다.

 

QA 길잡이 2.png

 

자신이 궁금한 내용의 핵심 키워드를 이 검색창에 입력하여 검색해보면 자신이 가진 질문과 유사한 질문 및 그에 대한 답변을 찾을 수 있을 것입니다.

 

 

2. 내용으로 찾아보기

 

QA 길잡이 3.png

 

질문방에 들어오면 위 그림과 같이 여러 개의 탭에 따라 질문과 답변이 분류되어 있는 것을 볼 수 있습니다. 여기서 맨 위의 큰 탭 5개가 Plasma in general 부터 Process까지의 대분류 5가지를 나타내고 있습니다. 한 대분류를 클릭했을 때 대분류 아래에 나타나는 작은 탭들은 그 대분류에 속하는 소분류를 나타내고 있습니다. 만약 키워드 검색만으로는 자신에게 필요한 내용을 찾지 못하였다면, 자신의 질문과 관련된 내용이 있는 탭의 게시물들을 읽어보며 자신에게 필요한 내용을 찾아볼 수 있을 것입니다.

 

아래의 표에는 각 대분류 별 소분류 및 세부 분류가 정리되어 있습니다. 이 글의 첨부 파일 QA_분류_정의및설명.pdf에는 각 분류에 대한 상세한 설명과 참고할 만한 자료가 정리되어 있으니, 부디 첨부파일을 내려받아 읽어보시기 바랍니다.

 

연구 또는 궁금증 해결에 도움이 되는 내용을 찾을 수 있기를 바랍니다.

 

QA category 1.png

 

QA category 2.png

 

QA category 3.png

 

QA category 4.png

 

QA category 5.png

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79237
» Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58062
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69619
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94403
53 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 831
52 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 823
51 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 819
50 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 810
49 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 809
48 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 804
47 ICP 후 변색 질문 785
46 Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마] [1] 779
45 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 770
44 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 747
43 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 747
42 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 745
41 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 729
40 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 729
39 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 695
38 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 692
37 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 687
36 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 655
35 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 619
34 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 610

Boards


XE Login