질문 ::

저는 직장에 다니는 회사원입니다. 얼마전 선배로 부터 플라즈마 코팅이라는 것을 문의 받았는데, 정확한 답변을 할 수가 없었습니다. 플라즈마 코팅의 원리와 국내 전문가를 소개시켜 주실 수 있는지요?

답변 ::

플라즈마를 이용한 코팅을 한마디로 설명하기는 어렵지만 간단히 생각해 보면 화학물이 시편 표면을 덮는데 플라즈마 환경을 이용한다고 생각할 수 있습니다. 플라즈마는 화학물의 활성에너지를 제공하거나 화학물이 시편 표면과 잘 반응하도록 합니다. 특히 플라즈마 내의 전자에 의해서 기체 상태의 화학물들은 해리되어 래디컬을 형성하여 시편 표면과 활발하게 반응하여 표면에 정착하게 됩니다. 이들 화학물은 시편 표면에 작은 섬을 만들고 그 섬 주변으로 점차 커지는데 이런 섬들이 많아지면 옆의 섬과 연결되면서 시편 전체를 덮게 됩니다. 따라서 시편과 코팅 목적에 알맞는 화학물을 선택하는 것이 매우 중요하며 플라즈마를 이용하고자 한다면 화학물을 기체상태 속에 넣을 수 있어야 합니다. 이렇게 플라즈마의 도움을 받아 표면에 화학물을 코팅하는 기술을 PECVD 혹은 PACVD라고 합니다. 이에 관한 연구는 대단히 활발함으로 주변의 대학 재료공학과에서 전문가를 쉽게 찾으실 수 있을 것 입니다. 혹은 본 란에 답글을 자주 올려주시는 군산대학의 주정훈 교수님이나 울산대학의 천희곤교수님을 찾아 원하시는 코팅에 대한 자문을 받아 보시는 편이 좋을 것 같습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79569
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21338
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58132
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94601
33 RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 20486
32 교육 기관 문의 17813
31 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 21769
30 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 29905
» 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22157
28 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20528
27 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19755
26 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19719
25 sputter 16891
24 Arcing [아크의 종류와 발생 원인] 24005
23 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18100
22 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 20899
21 ICP 식각에 대하여… [Electronegative plasma] 16995
20 박막 형성 [ICP와 MOCVD] 15326
19 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] 19679
18 플라즈마 처리 [표면처리와 Plasma Chemistry] 16971
17 플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential] 43799
16 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 17906
15 sputtering 18345
14 증착에 대하여... 18145

Boards


XE Login