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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69248
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171 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 336
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 339
169 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 369
168 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 404
167 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 408
166 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 422
165 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 445
164 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 447
163 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 451
162 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 460
161 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 498
160 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 543
159 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 584
158 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 623
157 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 632
156 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 654
155 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 660
154 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 661
153 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 663
152 RF Sputtering Target Issue [2] file 675

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