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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64557
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134 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 564
133 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 586
132 ICP 후 변색 질문 604
131 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 609
130 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 622
129 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 644
128 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 650
127 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 671
126 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 686
125 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 709
124 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 729
123 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 739
122 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 802
121 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 873
120 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 881
119 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 916
118 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 928
117 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 942
116 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 944
115 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 953
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