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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67965
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154 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 456
153 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 463
152 RF Sputtering Target Issue [2] file 466
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149 Polymer Temp Etch [1] 545
148 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 554
147 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 554
146 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 602
145 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 621
144 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 630
143 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 638
142 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 649
141 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 661
140 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 662
139 ICP 후 변색 질문 684
138 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 722
137 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 755
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 778
135 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 793

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