안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.


만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2296
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12779
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49613
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61085
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78357
123 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 446
122 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 446
121 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 505
120 ICP 후 변색 질문 521
119 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 560
118 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 594
117 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 606
116 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 636
115 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 668
114 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 671
113 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 676
112 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 706
» Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 744
110 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 747
109 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 765
108 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 829
107 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 867
106 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 872
105 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 881
104 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 896

Boards


XE Login