Others 고온 플라즈마 관련
2012.06.04 11:49
안녕하세요?
배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,
그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.
혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?
만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을
연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?
빠른 답변이면 감사하겠습니다.댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] | 3674 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15361 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50581 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 63010 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82191 |
| 64 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6131 |
| 63 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6474 |
| 62 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7478 |
| 61 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7553 |
| 60 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 7907 |
| » | 고온 플라즈마 관련 | 8015 |
| 58 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 8776 |
| 57 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9049 |
| 56 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9130 |
| 55 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 9927 |
| 54 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 10645 |
| 53 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 12423 |
| 52 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14651 |
| 51 | 질문있습니다 교수님 [1] | 14665 |
| 50 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 14876 |
| 49 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 14980 |
| 48 | 박막 형성 | 15099 |
| 47 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15459 |
| 46 | Sputter | 15582 |
| 45 | 몇가지 질문있습니다 | 16514 |