Etch 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지]

2019.03.28 15:12

안골 조회 수:2696

안녕하세요? 식각에 관해 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

요즘 plasma etching 에 관한 리뷰를 보는 중 식각 시 나타나는 etch profile의 distortion에 관해서 써놓은 내용을 보았습니다.

특히, Si 공정 중 micro-trench 현상이 일어나고, 그대로 소자가 만들어 졌을 때에 소자 상에서 어떤 문제가 일어나는지 궁금합니다. 

리뷰에 달린 참고문헌을 봐도 distortion에 대한 메커니즘만 설명되어 있고, 실제 소자상에서는 어떤 문제가 있는지 다뤄지지가 않아 너무 궁금합니다...

혹시 이에 대한 문헌이나, 참고할만한 자료가 있으면 답변 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

 

참고한 문헌 : Donnelly, V. M., & Kornblit, A. (2013). Plasma etching: Yesterday, today, and tomorrow. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 31(5), 050825.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111149
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27714
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64961
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76752
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111029
114 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2234
113 RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization] [1] 2323
112 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias] [1] 2369
111 CVD품질과 RF Delibery power 관계 질문 [RF power와 plasma information] [1] 2424
110 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 2430
109 플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE] [1] 2480
108 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2509
» 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2696
106 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time] [1] 2746
105 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2787
104 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2838
103 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2842
102 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2860
101 Dry etch 할 때 센터와 사이드 etch rate [Plasma diffusion과 distribution] [1] 2912
100 doping type에 따른 ER 차이 [MD 시뮬레이션 연구] [1] 2915
99 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2933
98 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2994
97 PR wafer seasoning [Particle balance, seasoning] [1] 3001
96 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 3033
95 RIE에 관한 질문이 있습니다. [Sheath 이온 거동 및 bias power] [1] 3201
쓰기
태그

Boards

XE Login