Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
62 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8022 |
61 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
60 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8559 |
59 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9259 |
58 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9497 |
57 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10280 |
56 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11293 |
55 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12432 |
54 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14730 |
53 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
52 | 박막 형성 | 15296 |
51 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15638 |
50 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15789 |
49 | Sputter | 15866 |
48 | 몇가지 질문있습니다 | 16577 |
47 | nodule의 형성원인 | 16743 |
46 | sputter | 16840 |
45 | ICP 식각에 대하여... | 16904 |
44 | 플라즈마 처리 | 16925 |
43 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17190 |
제 생각에는 Asher chamber 에서 Oring 근방의 열변화 및 산화에 의한 경화가 심할 수 밖에 없을 것 같습니다. 플라즈마의 역할이 열(에너지)전달과 산화(해리 진작)이 고려되고 세정 후 byprodcut가 oring 열화에 기여할 것 같지는 않습니다. 개선책은 딱히 떠오르지 않습니다만, 디자인으로 일부 늦출 수 있지 않을지 모르겠습니다. (plasma 열 전달과 plasma 확산 부에서 현재위치 보다 떨어뜨리거나 냉각효율이 높게 oring groove 를 세밀하게 조절하는 방법 등이 어떨까 합니다. 자칫 공정에 영향을 미칠 수 있는 부분이니 데이터를 축적해서 교정해 나가는 것이 좋겠습니다.