Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20190 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
162 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21573 |
161 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20905 |
160 | plasma cleanning에 관하여.... | 20833 |
159 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20480 |
158 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20422 |
157 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20204 |
156 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19712 |
155 | DC SPT 문의 | 19680 |
154 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
153 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19467 |
152 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
151 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19416 |
150 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
149 | 물리적인 sputterting | 18366 |
148 | sputtering | 18291 |
147 | 증착에 대하여... | 18101 |
146 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18038 |
145 | Plasma of Bio-Medical Application | 18007 |
144 | 플라즈마 응용분야 | 17860 |
143 | 교육 기관 문의 | 17781 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.