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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59451
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64 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2592
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59 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2269
58 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2235
57 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2096
56 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 1894

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