Others 고온 플라즈마 관련

2012.06.04 11:49

몽돌 조회 수:8092

안녕하세요?

배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,

그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.

혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?

만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을

연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?

빠른 답변이면 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77536
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20613
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57552
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69050
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93214
69 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1225
68 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1223
67 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1216
66 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1203
65 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1201
64 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1174
63 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1170
62 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1162
61 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1159
60 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1156
59 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [1] 1125
58 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1121
57 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1120
56 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1120
55 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1056
54 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 935
53 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 926
52 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 919
51 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 918
50 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 867

Boards


XE Login