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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[265]
| 76539 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20076 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57115 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68613 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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플라즈마 샘플 위치 헷갈림
[1] | 598 |
46 |
etch defect 관련 질문드립니다
[1] | 1026 |
45 |
RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소
[1] | 1045 |
44 |
doping type에 따른 ER 차이
[1] | 2038 |
43 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 1893 |
42 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3949 |
41 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1267 |
40 |
[Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련]
[3] | 2662 |
39 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1146 |
38 |
Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 1107 |
37 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 2386 |
36 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 2228 |
35 |
Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
[1] | 1365 |
34 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1234 |
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안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다.
[1] | 6381 |
32 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2933 |
31 |
압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 1878 |
30 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 2849 |
29 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1946 |
28 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1737 |