번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75740
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19424
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56651
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67974
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90165
64 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 127
63 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 158
62 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 175
61 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 193
60 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 225
59 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 229
58 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 275
57 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 275
56 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 277
55 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 353
54 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 386
53 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 459
52 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 464
51 Polymer Temp Etch [1] 546
50 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 554
49 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 556
48 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 726
47 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 793
46 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 796
45 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 888

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