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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19161
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67556
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89363
44 PR wafer seasoning [1] 2615
43 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2579
42 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2407
41 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2144
40 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2091
39 etching에 관한 질문입니다. [1] 2037
38 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1970
37 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1944
36 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1938
35 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1892
34 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1709
33 터보펌프 에러관련 [1] 1647
32 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1590
31 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1584
30 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1346
29 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1322
28 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1212
27 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1120
26 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1093
25 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1091
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