번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75425
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19161
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67556
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89363
24 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1038
23 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 983
22 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 906
21 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 891
20 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 836
19 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 775
18 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 701
17 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 599
16 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 545
15 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 508
14 Polymer Temp Etch [1] 495
13 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 406
12 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 399
11 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 320
10 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 250
9 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 249
8 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 226
7 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 155
6 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 138
5 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 137
쓰기
태그

Boards

XE Login