Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] | 76710 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20163 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57163 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68685 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92246 |
16 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1861 |
15 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8592 |
14 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2889 |
» | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8032 |
12 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6492 |
11 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31663 |
10 | RF에 대하여... | 32002 |
9 | 교육 기관 문의 | 17781 |
8 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21569 |
7 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29733 |
6 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22091 |
5 | DC SPT 문의 | 19680 |
4 | 박막 형성 | 15299 |
3 | 증착에 대하여... | 18101 |
2 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15645 |
1 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19467 |