Deposition DC SPT 문의

2004.06.25 16:39

관리자 조회 수:19680 추천:306

질문 ::

문의드리고자 하는것은.  DC SPT의 구조에 대하여 의문점이 있어 문의드립니다.
■ 구조는 DC power supply[10kw] -> Cathode[magnetic] ->  
    target -> 기판을 코팅
■ process gas : Argon

In-line 구조로서, 캐리어가 무빙하면서 코팅이되는 방식입니다.
캐리어를 구동시켜주는 롤러, 상부를 지지하여 주는 롤러는 테프론으
로 절연처리되어있습니다.

■ 캐리어는 floating 되게 되어있는 구조입니다.  현재까지 floating에
    큰 문제를 두지 않았는데요.
    floating이 깨지게 되면, 어떤 현상이 일어나는지 궁금합니다.
  (조금 자세히 알고싶습니다)

답변 ::

문의하신 질문에는 사실 장치를 제대로 보지 않고서 답하기는 매우 어려울 것 같습니다.
일단 그려지는 그림으로 답을 드린다면 절연되어 있은 carrier가 플라즈마 내에 오래 머무르고 있는
상태는 아니라 생각됩니다. 해서 접지시킨 경우와 별 차이가 없어 보이나 굳이 접지를 고려할
이유또한 없을 것 입니다. 만일 접지 시킨다면 구조상 다른 것이 변해야 하는 어려움을 수반할 터이니까요.
절연체가 플라즈마 내에 오래 머무르다 보면 절연체의 전위가 변하게 됩니다. 플라즈마 쉬스를 고려해 보면
답이 나오지요. 또한 절연체에는 전자에 의한 음전하가 쌓이게 되고 절연체는 전기 전도도가 낮음으로
어떤 일정지역에 전하가 몰려 있기가 쉽습니다. 이런 조건이 접지된 벽근처에서 형성된다 벽의 전위와 차이가
생기고 (전위와 하전량은 비례함으로) 절연체에 쌓인 전하는 접지쪽으로 빠져나가는 아크가 발생하게 됩니다.
국부적으로 검은 아크자국이 그래서 있는 것 입니다. 물론 이때 절연체를 도체로 바꾸고 접지시키면 해결이 되지만
절연체가 도체가 되었을 경우 처리하고자 하는 시편이 부도체라면 시편과 절연체(Carrier)사이에서 절연체와 벽사이에서
생긴 것과 같은 현상이 일어나 시편에 해가 될 수 있게 됩니다. 따라서 절연체의 전위는 시편의 입장에서 고려해야 할
사항입니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
36 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 156
35 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 222
34 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 391
33 PECVD Uniformity [1] 468
32 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 469
31 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 692
30 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 726
29 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1079
28 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1287
27 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1417
26 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1471
25 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
24 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1697
23 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1786
22 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1829
21 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2247
20 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2880
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3189
18 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4122
17 플라즈마 색 관찰 [1] 4194

Boards


XE Login