안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [103] 3677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15366
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50582
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63012
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82207
30 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 271
29 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 323
» 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 459
27 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 464
26 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 903
25 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 942
24 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 979
23 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 979
22 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1022
21 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1436
20 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1514
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1520
18 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2255
17 플라즈마 색 관찰 [1] 2783
16 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6131
15 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7478
14 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7908
13 질문있습니다 교수님 [1] 14668
12 박막 형성 15099
11 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15459

Boards


XE Login