Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] | 2932 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 14140 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50061 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 62375 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 80763 |
| 30 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 30914 |
| 29 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 28970 |
| 28 | RF에 대하여... | 27831 |
| 27 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 21886 |
| 26 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21054 |
| 25 | DC SPT 문의 | 19580 |
| 24 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 18927 |
| 23 | 증착에 대하여... | 17902 |
| 22 | 교육 기관 문의 | 17693 |
| » | PEALD관련 질문 [1] | 17451 |
| 20 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15441 |
| 19 | 박막 형성 | 15078 |
| 18 | 질문있습니다 교수님 [1] | 14310 |
| 17 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 7876 |
| 16 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7455 |
| 15 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6104 |
| 14 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 2706 |
| 13 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2229 |
| 12 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 1478 |
| 11 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 1430 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.