Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75421 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19154 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56478 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67551 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89347 |
| 14 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2006 |
| 13 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1681 |
| 12 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1445 |
| 11 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1431 |
| 10 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1397 |
| 9 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1306 |
| 8 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1271 |
| 7 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1185 |
| 6 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 929 |
| 5 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 625 |
| 4 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 608 |
| 3 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 427 |
| 2 | PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] | 262 |
| 1 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 142 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.