Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16641 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 99656
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24091
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60728
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103956
24 [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] 31587
23 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 25116
22 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22065
21 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21154
20 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20509
19 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19791
18 물리적인 sputterting 18465
17 sputtering 18413
16 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18176
15 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 18056
14 sputter 16969
» 몇가지 질문있습니다 16641
12 Sputter 16091
11 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 16074
10 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10649
9 DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering] [2] 4142
8 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2656
7 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1748
6 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1736
5 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1014

Boards


XE Login