번호 | 제목 | 조회 수 |
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공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66690 |
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3 | PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] | 1949 |
2 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1319 |
1 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13103 |