Others micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
2016.02.29 16:49
안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.
다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.
만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드 3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론
과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.
개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75421 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19154 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56478 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67552 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89355 |
29 | Plasma source type | 78822 |
28 | 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? | 23181 |
27 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21269 |
26 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19276 |
25 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 15942 |
24 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14418 |
23 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9813 |
22 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8471 |
21 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6304 |
20 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] ![]() | 5585 |
19 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] | 3762 |
18 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3148 |
17 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3074 |
16 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2451 |
15 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 1814 |
14 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1667 |
13 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1605 |
12 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1216 |
11 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1157 |
» | micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] | 1122 |