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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
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132 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1266
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114 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4126
113 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677

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