Ion/Electron Temperature 플라즈마내의 전자 속도
2009.10.16 04:52
플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?
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- 하지만 전자나 이온은 전기장에서 가속을 받아서 에너지를 높일 수 있습니다. 특히 시편 앞에서, 혹은 전극 앞에 형성되는 쉬스내에서 시편(전극)에 인가된 바이어스 전압에 의해 쉽게 가속되며 이때 운동에너지는 플라즈마 자체가 갖는 전위 (공간전위)에서 바이어스 전압을 뺀값으로 결정되고, 대부분의 바이어스 전압은 음으로 인가되어, 여기서의 전위차는 양의 값을 갖게되며, 대부분 이온의 운동에너지 값이 됩니다.
- 바이어스 전력의 크기에 따라서 바이어스 전압은 비례하나 정확한 값은 장치와 가스종류, 바이어스 인가 주파수 등에 따라 변하는 값이니 시편 전위를 측정하여 위의 관계식을 이용해서 이온이 시편에 입사될 때의 에너지를 결정할 수 있습니다. (여기서 바이어스 전압은 자기전압강하, self bias라 하며 Q/A를 찾아보면 설명되어 있습니다.)