안녕하세요.


우선 늘 성실하게 답변을 해주셔서 감사드립니다. 연구에 큰 도움이 되고 있습니다


Plasma Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 두껍게 증착시키고자 합니다.

실험의 목적은 Viewport Winodw에 증착된 Polymer가 유발하는 투과율의 변화를 OES를 통해 확인하는 것입니다.

가능한 한 두껍게 Polymer를 증착시키고 싶은데 Gas 및 Chamber 환경을 어떻게 조성해야 이런 환경을 만들 수 있을지 알려주신다면 감사하겠습니다!


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76722
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57165
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
43 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 435
42 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 586
41 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 714
40 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 758
39 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 603
38 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1365
37 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 703
» Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3322
35 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1373
34 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1642
33 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1348
32 Wafer particle 성분 분석 [1] 2319
31 charge effect에 대해 [2] 1465
30 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1454
29 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1065
28 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1318
27 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26116
26 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1016
25 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2870
24 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1319

Boards


XE Login