번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22003
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58784
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70420
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96406
129 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] 48288
128 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41431
127 Ground에 대하여 39740
126 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion] 36177
125 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 29847
124 Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시] [1] 28806
123 esc란? 28195
122 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle] 27808
121 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27382
120 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [공정 과정 및 장치 상태] [2] 26650
119 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26463
118 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25651
117 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25079
116 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [ICP Matching과 Circuit model] [1] 24904
115 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리] [1] 24878
114 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24797
113 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23405
112 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23019
111 Peak RF Voltage의 의미 22719
110 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22671

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