Etch DC Bias Vs Self bias

2004.11.05 17:03

이철중 조회 수:30718 추천:374

안녕하세요 김곤호 교수님,

(주)듀폰 포토마스크에 근무하고 있는 이철중입니다.

SETEC에서 진행하는 플라즈마 교육을 수강한 회사원입니다.

강의 내용을 들여다 보다 개념이 정확하지가 않은 것이 있어서 여쭙니다.

저희 회사에도 ICP Dry etcher가 있는데요 ....

모니터를 보다보면 ETCHING 중에 VDC라는 것이 디스플레이가됩니다.

이 전압은 RIE와 ICP POWER를 올리면 같이 올라갑니다.

일반적으로 ETCHER에서 보여주는 이 VDC가 저희가 알고 있는 SELF BIAS와 같은 건지 알고 싶습니다.

만약 그렇다면 장비의 정확히 어디서 부터 어디까지의 전압인지 궁금하고 어떤 방식으로 그 값을 읽어 내는지요.

장비마다 구조가 달라 답변을 주시기 모호하겠지만 일반적인 장비를 기준으로 설명해 주시면 감사하겠습니다.

감사합니다.

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