Others H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다.

2010.11.29 12:11

김준영 조회 수:19137 추천:56

안녕하세요
제가 ICP 장비에서 플라즈마를 이용한 표면 처리 실험을 하고 있습니다.
챔버내에 O2와 H2 가스를 혼합하여 플라즈마를 띄웠습니다.
공정 압력은 10-3 torr 정도 이고 가스유량은 산소 10 : 수소 50 ~ 산소 50 : 수소 50 sccm 입니다.
궁금한거는 산소와 수소가 만나면 폭발을 할 위험이 있는데요 안전한건지 궁금합니다.
안전하다면 왜 안전 한건지 이유도 같이 알려 주시면 감사 하겠습니다.
그리고 H2/O2 비율과 압력대 관련 가용영역 이러한 자료는 어디에서 구할수가 있을가요??
인터넷으로 검색을 한다면 무슨 제목으로 검색을 해야 할가요? 현재 한참 검색을 해보았는데 아직 관련 자료응 얻지 못하였습니다.

그리고 만일 안전 하다면... 혹시 고진공 수소와 산소 혼합가스로 플라즈마를 생성하는 과정에서 챔버내에 불꽃이나 스파크가 일어 난다면 그때는 폭발의 위험성이 큰거 겠죠??

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5798
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17210
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53020
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64471
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85086
54 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7581
53 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 9989
52 Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] 15633
51 [Sputter Forward,Reflect Power] [1] 28354
50 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31144
49 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20070
» H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19137
47 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29246
46 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17068
45 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34652
44 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20727
43 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23329
42 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24289
41 몇가지 질문있습니다 16535
40 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22358
39 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 22254
38 Full Face Erosion 관련 질문 [2] 19375
37 RF에 대하여... 28521
36 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23791
35 DC Bias Vs Self bias [5] 30718

Boards


XE Login