Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발]

2018.08.29 17:36

전군 조회 수:811

안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82268
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21898
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58685
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70313
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96086
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1540
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 541
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6059
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1305
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 590
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1154
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17558
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 563
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 953
» 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 811
414 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2449
413 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3538
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 5913
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5693
410 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 570
409 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 2758
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1574
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1451
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1039
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2583
쓰기
태그

Boards

XE Login