Etch 터보펌프 에러관련

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:1536

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.


터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64484
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85099
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1064
» 터보펌프 에러관련 [1] 1536
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 453
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 944
454 플라즈마 충격파 질문 [1] 692
453 ESC Cooling gas 관련 [1] 3036
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 776
451 플라즈마 코팅 [1] 966
450 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2452
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 363
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1048
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 573
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 607
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 725
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 724
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 461
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1002
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 315
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 367
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2178

Boards


XE Login