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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브]
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식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지]
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plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소]
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Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정]
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질]
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charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple]
[2] | 1651 |
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PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착]
[1] | 1785 |
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터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력]
[1] | 1873 |
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프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath]
[1] | 706 |
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극]
[1] | 1569 |
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
[1] | 903 |
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ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어]
[1] | 3733 |
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O2 Plasma 에칭 실험이요
[1] | 1068 |
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플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films]
[1] | 1112 |
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산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응]
[1] | 2683 |
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수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전]
[1] | 625 |
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448 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
[4] | 1445 |
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447 |
RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
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446 |
플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]
[1] | 974 |
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445 |
RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계]
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