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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion]
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap]
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DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"]
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안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor]
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DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"]
[3] | 11545 |
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ICP와 CCP의 차이 [Self bias와 Maxwellian distribution]
[3] | 12775 |
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새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터]
[1] | 865 |
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RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization]
[1] | 2043 |
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Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher]
[1] | 9623 |
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수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention]
[3] | 2917 |
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ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy]
[2] | 2155 |
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Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 1579 |
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조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"]
[1] | 661 |
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350 |
RIE에 관한 질문이 있습니다. [Sheath 이온 거동 및 bias power]
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RF frequency와 RF power 구분
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RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
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PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위]
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안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias]
[1] | 783 |
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Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [Standing wave 및 플라즈마 밀도 분포]
[1] | 3814 |
