Others H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다.
2010.11.29 12:11
안녕하세요
제가 ICP 장비에서 플라즈마를 이용한 표면 처리 실험을 하고 있습니다.
챔버내에 O2와 H2 가스를 혼합하여 플라즈마를 띄웠습니다.
공정 압력은 10-3 torr 정도 이고 가스유량은 산소 10 : 수소 50 ~ 산소 50 : 수소 50 sccm 입니다.
궁금한거는 산소와 수소가 만나면 폭발을 할 위험이 있는데요 안전한건지 궁금합니다.
안전하다면 왜 안전 한건지 이유도 같이 알려 주시면 감사 하겠습니다.
그리고 H2/O2 비율과 압력대 관련 가용영역 이러한 자료는 어디에서 구할수가 있을가요??
인터넷으로 검색을 한다면 무슨 제목으로 검색을 해야 할가요? 현재 한참 검색을 해보았는데 아직 관련 자료응 얻지 못하였습니다.
그리고 만일 안전 하다면... 혹시 고진공 수소와 산소 혼합가스로 플라즈마를 생성하는 과정에서 챔버내에 불꽃이나 스파크가 일어 난다면 그때는 폭발의 위험성이 큰거 겠죠??
댓글 2
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김곤호
2010.11.26 19:47
"H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다"을 참고하시기 바랍니다. 찾기에서 H2/O2를 넣으면 쉽게 찾을 수 있습니다. -
김준영
2010.11.29 12:11
아 제가 그 글을 읽고 이 글을 작성하였습니다.. 그 글을 읽었는데 아직 잘 모르는 부분이 있어서 이 글을 남겼는데요.. 잘모르는 부분은 위 글에서 처럼
1. H2/O2 비율과 압력대 관련 가용역영 << 이자료를 여기저기 찾아 보았는데 아직 못찾아서요 혹시 찾을수 있을 만한 곳을 아시면 알려 주시면 감사 하겠습니다.
2. 그리고 안전한 이유는 그냥 고진공에서는 H2/O2 혼합하여도 고진공이라 안전한건가요?? 안전한 이유도 알려주시면 감사 하겠습니다.
3. 그리고 마지막으로 챔버내에서 수소/산소 혼합가스로 플라즈마 생성하는 과정에서 불꽃이나 스파크가 일어난다면 그때의 폭발 위험성은 어떻게 되는지 이렇게가 가장 궁금한 점입니다.
알고 계신 다면 알려주시면 정말 감사 하겠습니다~
