번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79251
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21266
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69623
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94413
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17246
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] 35070
221 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] 18414
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22706
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25636
218 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20698
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20324
216 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 20969
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25036
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24776
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27334
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41412
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23531
210 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20157
209 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 18613
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23326
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21198
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 23902
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 19247
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21393

Boards


XE Login