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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[313]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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203 |
H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure]
[1] | 24825 |
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202 |
dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity]
[3] | 26404 |
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201 |
몇가지 질문있습니다
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200 |
플라즈마내의 전자 속도 [Self bias]
[1] | 22018 |
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Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달]
[1] | 18161 |
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198 |
matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계]
[1] | 29800 |
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TMP에 대해 다시 질문 드립니다.
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196 |
터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
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[re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
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Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술]
[1] | 22629 |
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193 |
플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]
[1] | 21397 |
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192 |
Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown]
[2] | 22346 |
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191 |
Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시]
[1] | 28753 |
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190 |
RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리]
[1] | 24840 |
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189 |
전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지]
[1] | 18957 |
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궁금해서요
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187 |
PM을 한번 하시죠
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186 |
CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어]
[1]  | 20477 |
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185 |
Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스]
[1] | 22941 |
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184 |
scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적]
[2] | 19299 |
