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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20181 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1308 |
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 2009 |
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ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요?
[1] | 8719 |
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CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3533 |
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ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 14783 |
624 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1331 |
623 |
전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1011 |
622 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 862 |
621 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2270 |
620 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1533 |
619 |
OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1] | 1366 |
618 |
CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
[1] | 704 |
617 |
anode sheath 질문드립니다.
[1] | 983 |
616 |
안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 725 |
615 |
플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
[1] | 707 |
614 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1458 |
613 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1987 |
612 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 789 |
611 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 2015 |
610 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1450 |