안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 77984
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20815
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57727
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69233
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93609
18 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 339
17 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 338
16 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 325
15 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 244
14 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 243
13 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 217
12 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 208
11 corona model에 대한 질문입니다. [1] 187
10 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 183
9 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 182
8 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 181
7 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 172
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 163
5 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 161
4 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 135
3 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 127
2 Druyvesteyn Distribution 87
1 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 51

Boards


XE Login