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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67965
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44 플라즈마 챔버 [2] 1074
43 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1063
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41 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 971
40 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 971
39 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 953
38 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 911
37 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 900
36 Plasma Generator 관련해서요. [1] 886
35 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 868
34 anode sheath 질문드립니다. [1] 860
33 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 842
32 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 835
31 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 833
30 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 824
29 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 815
28 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 786
27 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 759

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