번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67549
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89332
25 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 732
24 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 704
23 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 693
22 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 685
21 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 680
20 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 679
19 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 664
18 라디컬의 재결합 방지 [1] 651
17 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 605
16 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 538
15 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 499
14 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 490
13 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 479
12 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 457
11 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 442
10 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 438
9 핵융합 질문 [1] 436
8 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 429
7 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 428
6 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 387
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