번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] 75416
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19150
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67545
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89325
48 plasma 공정 중 색변화 [1] 354
47 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 354
46 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 349
45 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 331
44 plasma modeling 관련 질문 [1] 329
43 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 324
42 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 320
41 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 306
40 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 285
39 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 260
38 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 258
37 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 256
36 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 249
35 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 245
34 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 228
33 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 222
32 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 221
31 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 212
30 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 210
29 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 207
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