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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
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228 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8707
227 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1326
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224 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 706
223 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1975
222 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2002
221 전자 온도 구하기 [1] file 1123
220 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
219 CVD 공정에서의 self bias [1] 3089
218 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1113
217 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1859
216 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1073
215 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
214 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3282

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