랑뮤어 프로브에 관한 논문을 읽다가 궁금하게 생겨 질문 드립니다. 

이온은 프리쉬스 영역에서 0.5(kTe/e)에 해당하는 전압강하를 통하여 bohm속도를 갖게되어 음극쪽으로 끌려가는 것으로 알고 있습니다.

논문에서는 음극에서 수집되는 전류밀도는 일정하므로 이온의 밀도는 감소하며 만약 이 이온의 밀도감소 속도가 전자의 밀도감소 속도보다 빠르게 될 경우 전자가 사라지기 전에 이온밀도가 감소하여 결국 순 전류가 음의 값을 가져 이온의 속도가 증가한다고 합니다. 따라서 이를 해결하려면 쉬스의 양의 공간 전하를 유지하기 위해 이온은 bohm속도에 해당하는 속도로 쉬스로 들어가야 한다고 나와있습니다. 

이 부분이 이해가 되질 않습니다.  프리 쉬스에 의해  bohm속도에 도달한 이온들은 쉬스영역으로 더 잘 끌려간다는 말 아닌가요? 이렇게 되면 이온밀도는 더 감소하게되는것 아닌지... 쉬스의 양의 공간전하 유지를 위해 이온밀도 감소 속도를 낮춰야 한다면서 한편으로는 쉬스영역으로 더 잘 끌려갈 수 있게 bohm 속도를 가져야 한다니... 뭔가 역설적인것 같습니다..

또 프리 쉬스가 생기는 이유에 대해서도 궁금합니다.

또 다른 한 논문에서는 "이온-중성종 간의 약한 충돌이 지배적으로 일어나는 전통적 의미의 프리쉬스 영역이 존재함을 의미" 라고 적혀있는것을 보았습니다.

이온-중성종간의 충돌이 프리쉬스의 형성과 어떤 관련이 있나요?? 아니면 그냥 프리쉬스영역에서 이온-중성종간의 충돌이 일어난다는 뜻인가요??

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 81809
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21813
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58603
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95846
35 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 670
34 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1102
33 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1349
32 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5058
31 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2407
30 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3475
29 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2094
28 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 552
27 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 647
26 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 3775
25 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 881
24 wafer bias [Self bias] [1] 1276
23 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1257
» 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 701
21 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1105
20 DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"] [3] 11543
19 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9619
18 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위] [1] 3019
17 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 780
16 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2334

Boards


XE Login