번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75775
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19463
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56674
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68043
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90341
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] update 115
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 370
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 278
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 261
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 248
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 212
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 273
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 504
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 552
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 497
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 530
106 Plasma Arching [1] 916
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 880
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 784
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 729
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 929
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1342
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2422
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1131
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1338
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