|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[218]
| 75410 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 19148 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 56477 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 67542 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 89320 |
|
76 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3337 |
|
75 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3312 |
|
74 |
matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 9109 |
|
73 |
매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
[1] | 771 |
|
72 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2577 |
|
71 |
대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1006 |
|
70 |
chamber impedance
[1] | 1910 |
|
69 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 4821 |
|
68 |
Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6068 |
|
67 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2772 |
|
66 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 2942 |
|
65 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 2080 |
|
64 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3296 |
|
63 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1201 |
|
62 |
RPC CLEAN 시 THD 발생
[1] | 564 |
|
61 |
Si Wafer Broken
[2] | 2252 |
|
60 |
MATCHER 발열 문제
[3] | 1335 |
|
59 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 2109 |
|
58 |
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
| 4130 |
|
57 |
고진공 만드는방법.
[1] | 924 |
