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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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고진공 만드는방법.
[1] | 952 |
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1402 |
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2108 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1806 |
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Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1414 |
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analog tuner관련해서 질문드립니다.
[1] | 616 |
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5680 |
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 7716 |
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플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2364 |
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 6891 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1838 |
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Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1900 |
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ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7490 |
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ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 6904 |
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6385 |
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ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
[1] | 9667 |
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플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ
[1] | 9710 |
