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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71050
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16 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27456
15 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25143
14 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [ICP Matching과 Circuit model] [1] 24948
13 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG] [2] 7715
12 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe] [3] 6269
11 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [플라즈마 주파수와 Vpp, sheath] [1] 4132
10 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [Self bias와 DC offset] [1] 4001
9 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스] [1] file 2740
8 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화] [1] 2573
7 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2161
6 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건] [1] 1886
5 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1796
4 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1117
3 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 678
2 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 661
1 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 376

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