Others N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정]
2016.05.05 09:33
안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어입니다.
N2, Ar Plasma 를 사용하여 미세 Pattern Pad 표면 세정을 하려고 합니다.
세정물 오염원은 C, Si 등을 포함한 성분인데요.
N2 와 Ar 중 어떤게 더 효과적일지 궁금합니다. ( 사용 원소에 따른 플라즈마 처리 세기의 차이가 있을거 같은데.. )
자료를 찾다보니 아래와 같이 기술된 것도 있던데 맞나요??
- 사용 기체로 산소 및 질소를 사용하였을 경우 아르곤을 사용한 플라즈마 처리 시 보다 에칭 효과 우수
- 산소 사용 시 질소 사용보다 표면 에칭 효과 우수
※ 표면 에칭: 아르곤 < 질소 < 산소
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [324] | 90879 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 23328 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 59999 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 71825 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 100878 |
37 | 플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential] | 43882 |
36 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] | 35225 |
35 |
[re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다.
![]() | 30431 |
34 | Arcing [아크의 종류와 발생 원인] | 24272 |
33 | plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] | 20937 |
32 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20576 |
31 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] | 19713 |
30 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19657 |
29 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19589 |
28 | 플라즈마의 환경이용 | 18831 |
27 | Plasma of Bio-Medical Application | 18056 |
26 | 플라즈마 응용분야 | 17956 |
25 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17276 |
24 | 플라즈마 처리 [표면처리와 Plasma Chemistry] | 17014 |
23 | nodule의 형성원인 | 16877 |
22 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15154 |
21 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14864 |
» | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정] [1] | 12214 |
19 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9326 |
18 | 고온 플라즈마 관련 | 8138 |