ESC dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity]

2010.05.18 11:04

김기구너 조회 수:26463 추천:215

ESC 관련회사에 다니는 김기권입니다.
LCD 공정에서 각 단계별 과정을 거친 후 dechucking시 Glass가 ESC(Electrostatic Chuck)로부터 방전되지 못하고, 잔류되어 있는 극성을 띤 전하(Electric charge)들에 의해 Glass 와 ESC 사이에 인력이 발생하여  Glass broken  문제가 발생했습니다. ESC 는 6개월 정도 사용중이었고 고객사에서는 ESC 에 문제로 추정하고 있습니다. Glass broken 문제에 관하여 ESC 의 문제로만 볼수있는지... 아님 Etcher 장비에도 문제가 있을수 있는지 궁금합니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82720
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21980
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58759
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70390
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96327
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21430
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 24870
» dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26463
201 몇가지 질문있습니다 16624
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22056
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18211
198 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 29846
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18367
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19409
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19712
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22653
193 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21421
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22374
191 Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시] [1] 28806
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리] [1] 24877
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19018
188 궁금해서요 16362
187 PM을 한번 하시죠 19770
186 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어] [1] file 20496
185 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스] [1] 22988
쓰기
태그

Boards

XE Login